该离子束溅射镀膜机(IBS)是一种高精度、高质量、高效率的薄膜沉积设备,被广泛应用于半导体、光电、光伏、显示等领域。随着科技的发展和市场需求的增长,对离子束溅射镀膜机的应用范围和需求也伴随其高质量膜层制备能力而不断增长。特别是近年来,微纳加工、光电技术等高科技行业对该类设备和加工工艺的关注度显著提高。相比其他PVD设备,离子束溅射镀膜机(IBS)在工艺上具备成膜控制精准、折射率稳定、吸收小等特点。
强激光反射膜、高精度带通滤光膜、高精度分光等高质量膜层应用;特别是在强光膜上,具有反射率高、吸收小、温升小等特点。