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该设备为光学膜系专用真空镀膜设备,匹配高、低温环境获得功能,光学膜厚检测功能,双离子辅助沉积功能,能进行多种光学膜系工艺制备,在窄带滤光膜工艺制备方面有着不俗表现。设备稳定性好,镀膜重复性高。
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真空钎焊炉
SXZ2200-1/G箱式真空镀膜系统(电子束蒸发)
SJC500-1D型双室磁控溅射镀膜系统
SXZ3200-1/G箱式真空镀膜系统(电子束蒸发)
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