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该设备属于大口径高性能电子束蒸发光学镀膜机,配置进口电子枪+进口射频离子源(RF)适宜于各类光学介质膜制备(包括强激光膜)、微纳加工镀膜等。特别是在大规格大尺寸基片制备工艺上具有精度高、适宜范围广、成膜质量好等优势。
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SXZ1800-1/G型高真空光学镀膜机
IBS1300-1G型离子束溅射镀膜机
真空机组
SXZ2500-3/G型高真空光学镀膜机
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