SJC500-1D型双室磁控溅射镀膜系统

该设备为双室磁控溅射高真空镀膜设备,设备主体由溅射室(低温泵+干泵系统)、进样室(分子泵系统)组合构成。通过安装在进样室的磁耦合传动装置,在真空状态下将进样室内的基片传送至溅射室内进行镀膜,镀膜结束后又将基片取回进样室,溅射室保持真空状态运行,大大提高设备生产效率。

该设备具有-6Pa级的真空获得能力。

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成都中科德联真空科技有限责任公司
都中科德联真空科技有限责任公司位于西南经济文化中心—成都,坐落于成都市国家级经济技术开发区,成立于2015年,主要从事真空应用系统及配套设备的研发生产、设计调试、技术服务等工作,包括各类型真空镀膜设备及非标真空应用设备
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